电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。
这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。
便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统：
由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。
FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有管道材料。
微处理器通常在大型半导体工厂生产。为了将微电子电路用于超纯硅晶体晶圆，要连续用各种液体处理晶圆——超纯水、各种酸和特殊化学品。这些液体储存在各种储罐里，通过管道连接到各个生产部门。
在许多情况下，消耗量至今都是纯粹根据储罐的填充水平来计算的。为了优化过程控制和资源使用，直接消耗量测量正变得越来越关键。然而，重要的是，绝对不能存在液体污染风险——特别是金属离子污染。
FLEXIM 的非侵入、无金属超声波流量测量系统是这种测量任务的最佳解决方案：
无金属超声波传感器只需夹在管道上，不会与流经管道或管子的介质接触，从而完全避免了所有污染风险。结合特殊的安装夹具，这套测量系统也可以准确无误地用于柔性管道，甚至在低至每小时仅数升的流速下也能测量。
干法蚀刻与光刻技术相结合，广泛用于半导体制造工艺。蚀刻过程中去除残留物要用到特殊的化学品，如 EKC265™。残留物清洗是一个重要的因素，会影响最终的集成电路 (IC) 质量。
对清洗过程的在线监测，以往无法实现。实验室会不定期对清洗液进行取样并通过 FTIR 仪器进行分析。这个过程必须手工完成，成本很高，而且不能实现对清洗液必要的连续监测。人们发现，清洗剂（例如 EKC265™ 等）随着浓度升高（由于水的蒸发），清洗性能会降低。因此，一些清洗过的晶圆批次不能用于进一步生产，需要重新清洗。这是产量的重大损失，也意味着额外的成本。
在线过程折射仪 PIOX R 是一种卓越的替代方案，可以持续监测清洗剂的质量，避免失败的清洗周期，并获知清洗液中的实际水含量。PIOX R 安装在旁路（直接安装在旋转冲洗干燥器中），监测清洗剂的浓度，如 EKC265™（以 w% 为单位的水含量输出），保证清洗液的质量，优化晶圆清洗结果，提高液槽寿命。
